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半導体製造装置市場と連動するクリーンルーム用ロボット市場

半導体製造装置に組み込まれる真空および大気搬送ロボットの市場は、2015年以来、年率11.7%で成長をしており、2020年には10億ドルに到達すると予測されています。このクリーンルーム用ロボットの過去および将来に予測される成長トレンドは、半導体製造装置の長期的成長率と一致しています。

しかし、真空搬送ロボットと大気搬送ロボットのデータをわけて分析すると、異なる様相が現れてきます。真空搬送ロボットの2015年から2020年にかけての年間成長率が19.9%なのに対し、大気搬送ロボットの同期間の年間成長率は6.5%にすぎません。真空搬送ロボットの高成長率のひとつの理由は、半導体製造における真空プロセスの増加にあります。

 

VLSI 1

 

真空プロセスが新たに加わることは、真空および大気搬送ロボットの両者の需要を押し上げますが、全体のロボットに占める真空搬送ロボットのシェアを高める効果があります。また、真空搬送ロボットはひとつのメーカーに寡占されており、価格は堅調となる傾向があります。これに対し、大気搬送ロボットの市場は数社のメーカーが分け合っており、非常に競争が激しい環境により価格は常に圧力を受けています。

クリーンルーム用ロボットのうち、40%はエッチング装置に使用され、36%が成膜装置、24%がその他の各種装置(リソグラフィー、イオン注入、CMP、プロセス診断、ウェットプロセスなど)に使用されています。

 

VLSI 2

 

内製サプライヤも含めたベンダーのほとんどが、北米(47%)と日本(44%)の企業で、欧州、韓国のメーカーが残りの9%を供給しています。

クリティカルサブシステムの詳細につちえは、VLSI Researchにお問い合わせください。

 

 

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